Thin film synthesis of Ti3SiC2 by rapid thermal processing of magnetron-sputtered Ti-C-Si multilayer systems
- Marcus Hopfeld
- , Rolf Grieseler
- , Thomas Kups
- , Marcus Wilke
- , Peter Schaaf
- Technical University of Ilmenau
Producción científica: Contribución a una revista › Artículo › revisión exhaustiva
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Citas
(Scopus)