Thin film synthesis of Ti3SiC2 by rapid thermal processing of magnetron-sputtered Ti-C-Si multilayer systems

  • Marcus Hopfeld
  • , Rolf Grieseler
  • , Thomas Kups
  • , Marcus Wilke
  • , Peter Schaaf

Producción científica: Contribución a una revistaArtículorevisión exhaustiva

15 Citas (Scopus)

Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Thin film synthesis of Ti3SiC2 by rapid thermal processing of magnetron-sputtered Ti-C-Si multilayer systems'. En conjunto forman una huella única.

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