Thin film synthesis of Ti3SiC2 by rapid thermal processing of magnetron-sputtered Ti-C-Si multilayer systems

Marcus Hopfeld, Rolf Grieseler, Thomas Kups, Marcus Wilke, Peter Schaaf

Producción científica: Contribución a una revistaArtículorevisión exhaustiva

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Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Thin film synthesis of Ti3SiC2 by rapid thermal processing of magnetron-sputtered Ti-C-Si multilayer systems'. En conjunto forman una huella única.

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