Schichten über Schichten: Innovative beschichtungen für komplexe Anwendungen

Peter Schaaf, Lothar Spieß, Thomas Kups, Henry Romanus, Rolf Grieseler, Marcus Hopfeld, Marcus Wilke, Thomas Stauden, David Lorenz, Andreas Fischer

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Resumen

Schichten und Beschichtungen sind mittlerweile eine unabdingbare Voraussetzung für eine Vielzahl von technischen Anwendungen für hochwertige Werkstoffe geworden. In diesem Beitrag werden beispielhaft hochwertige Beschichtungen für elektrisch leitende und optisch transparente Schichten für die Photovoltaik, Schichten für medizinische Elektroden, für Halbleiterkontakte und für Hochtemperaturkontakte vorgestellt. Die hierfür eingesetzten Verfahren sind das Magnetron-Sputtern und die gepulste Laserdeposition. Der Einfluss der Beschichtungsparameter auf die funktionalen Eigenschaften werden vorgestellt. Films over films: innovative coatings for complex applications Thin films and coatings have developed as a prerequisite for many technical applications. In this paper, some applications for electrical, electronic, biomedical and optical applications are presented. In this contribution, examples for coatings for conductive and transparent films in photovoltaics, films for biomedical electrodes, for semiconductor contacts and for high-temperature contacts are presented and discussed. The films are prepared by magnetron-sputtering and pulsed laser deposition. The influence of the processing parameters on the functional properties of the films is presented.

Título traducido de la contribuciónFilms over films: Innovative coatings for complex applications
Idioma originalAlemán
Páginas (desde-hasta)24-32
Número de páginas9
PublicaciónVakuum in Forschung und Praxis
Volumen23
N.º3
DOI
EstadoPublicada - jun. 2011
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