Residual stress measurements and mechanical properties of AlN thin films as ultra-sensitive materials for nanoelectromechanical systems

  • R. Grieseler
  • , J. Klaus
  • , M. Stubenrauch
  • , K. Tonisch
  • , S. Michael
  • , J. Pezoldt
  • , P. Schaaf

Producción científica: Contribución a una revista › Artículo › revisión exhaustiva

3 Citas (Scopus)

Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Residual stress measurements and mechanical properties of AlN thin films as ultra-sensitive materials for nanoelectromechanical systems'. En conjunto forman una huella única.

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