Quality control and electrical properties of thin amorphous (SiC) 1-x(AlN)x films produced by radio frequency dual magnetron sputtering
- G. Gálvez De La Puente
- , O. Erlenbach
- , J. A.Guerra Torres
- , T. Hupfer
- , M. Steidl
- , F. De Zela
- , R. Weingärtner
- , A. Winnacker
- Friedrich-Alexander University Erlangen-Nürnberg
- Pontifical Catholic Univ. of Peru
Producción científica: Capítulo del libro/informe/acta de congreso › Contribución a la conferencia › revisión exhaustiva
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Citas
(Scopus)