PECVD-AlOx/SiNx passivation stacks on silicon: Effective charge dynamics and interface defect state spectroscopy
- Jan Amaru Tofflinger
- , Abdelazize Laades
- , Caspar Leendertz
- , Liz Margarita Montanez
- , Lars Korte
- , Uta Sturzebecher
- , Hans Peter Sperlich
- , Bernd Rech
- Scientific Management
- CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH
- Roth and Rau AG
Producción científica: Contribución a una revista › Artículo de la conferencia › revisión exhaustiva
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Citas
(Scopus)