Magnetron sputtered AlN layers on LTCC multilayer and silicon substrates

Heike Bartsch, Rolf Grieseler, Jose Mánuel, Jörg Pezoldt, Jens Müller

Producción científica: Contribución a una revistaArtículorevisión exhaustiva

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Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Magnetron sputtered AlN layers on LTCC multilayer and silicon substrates'. En conjunto forman una huella única.

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