Influence of the substrate bias on the stress in Ti-DLC films deposited by dc magnetron sputtering

  • S. Ponce
  • , N. Z. Calderon
  • , J. L. Ampuero
  • , A. La Rosa-Toro
  • , A. Talledo
  • , W. Gacitúa
  • , B. R. Pujada

Producción científica: Contribución a una revista › Artículo de la conferencia › revisión exhaustiva

2 Citas (Scopus)

Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Influence of the substrate bias on the stress in Ti-DLC films deposited by dc magnetron sputtering'. En conjunto forman una huella única.

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