Publicación Plasma parameters analysis in DC and RF magnetron sputtering using finite element method N Z Calderon · Carlo Becerra · Jose Alfonso Campo · Jaime Paul Carreño · H. Torreblanca · Michael Stüber · S. Ulrich · Rolf Grieseler 2024 SSRN Electronic Journal DOI: 10.2139/ssrn.4841425 Autores y colaboradores Authors N Z Calderon Carlo Becerra Jose Alfonso Campo Jaime Paul Carreño H. Torreblanca Michael Stüber S. Ulrich Rolf Grieseler Palabras clave Finite element method Materials science Plasma Full item page
