TY - JOUR
T1 - Schichten über Schichten
T2 - Innovative beschichtungen für komplexe Anwendungen
AU - Schaaf, Peter
AU - Spieß, Lothar
AU - Kups, Thomas
AU - Romanus, Henry
AU - Grieseler, Rolf
AU - Hopfeld, Marcus
AU - Wilke, Marcus
AU - Stauden, Thomas
AU - Lorenz, David
AU - Fischer, Andreas
PY - 2011/6
Y1 - 2011/6
N2 - Schichten und Beschichtungen sind mittlerweile eine unabdingbare Voraussetzung für eine Vielzahl von technischen Anwendungen für hochwertige Werkstoffe geworden. In diesem Beitrag werden beispielhaft hochwertige Beschichtungen für elektrisch leitende und optisch transparente Schichten für die Photovoltaik, Schichten für medizinische Elektroden, für Halbleiterkontakte und für Hochtemperaturkontakte vorgestellt. Die hierfür eingesetzten Verfahren sind das Magnetron-Sputtern und die gepulste Laserdeposition. Der Einfluss der Beschichtungsparameter auf die funktionalen Eigenschaften werden vorgestellt. Films over films: innovative coatings for complex applications Thin films and coatings have developed as a prerequisite for many technical applications. In this paper, some applications for electrical, electronic, biomedical and optical applications are presented. In this contribution, examples for coatings for conductive and transparent films in photovoltaics, films for biomedical electrodes, for semiconductor contacts and for high-temperature contacts are presented and discussed. The films are prepared by magnetron-sputtering and pulsed laser deposition. The influence of the processing parameters on the functional properties of the films is presented.
AB - Schichten und Beschichtungen sind mittlerweile eine unabdingbare Voraussetzung für eine Vielzahl von technischen Anwendungen für hochwertige Werkstoffe geworden. In diesem Beitrag werden beispielhaft hochwertige Beschichtungen für elektrisch leitende und optisch transparente Schichten für die Photovoltaik, Schichten für medizinische Elektroden, für Halbleiterkontakte und für Hochtemperaturkontakte vorgestellt. Die hierfür eingesetzten Verfahren sind das Magnetron-Sputtern und die gepulste Laserdeposition. Der Einfluss der Beschichtungsparameter auf die funktionalen Eigenschaften werden vorgestellt. Films over films: innovative coatings for complex applications Thin films and coatings have developed as a prerequisite for many technical applications. In this paper, some applications for electrical, electronic, biomedical and optical applications are presented. In this contribution, examples for coatings for conductive and transparent films in photovoltaics, films for biomedical electrodes, for semiconductor contacts and for high-temperature contacts are presented and discussed. The films are prepared by magnetron-sputtering and pulsed laser deposition. The influence of the processing parameters on the functional properties of the films is presented.
UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?scp=79958859756&partnerID=8YFLogxK
U2 - 10.1002/vipr.201100457
DO - 10.1002/vipr.201100457
M3 - Artículo
AN - SCOPUS:79958859756
SN - 0947-076X
VL - 23
SP - 24
EP - 32
JO - Vakuum in Forschung und Praxis
JF - Vakuum in Forschung und Praxis
IS - 3
ER -